型 号
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
镀膜室尺寸
Ф1050×1250，304不锈钢。
Ф800×1000
Ф900×1050
Ф1200×1250
镀膜腔内尺寸
工装夹具支架离地1680mm，适合人体工学的操作高度。
工装夹具支架离地1468mm，适合人体工学的操作高度。
工装夹具支架离地1510mm，适合人体工学的操作高度。
1.拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min，无级变速。
2.拱型三工件盘，行星公自转，更大限度满足客户对生产量的需要。旋转5-30r/min，无级变速。
工装夹具
供型四片装，支架倾角可调，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min，无级变速。
拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min，无级变速。
拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min，无级变速。
真空系统
机组：扩散泵DIP-12000(莱宝），罗茨泵ZJY-300，机械泵2X-70，维持泵2X-8。管路为304不锈钢。
机组：扩散泵KT-400（振华),罗茨泵ZJY-150,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
机组：扩散泵KT-600（振华），罗茨泵ZJY-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
机组：扩散泵KT-800（振华），罗茨泵ZJY-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
极限真空：优于4×10-4 Pa。
配置防湍流装置，安全互锁设计，手动，自动可选。
加热系统
发热管上加热方式，PID控制，最高350℃±1.5℃。
工作气体充气
气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀。
真空电离轰击
直流3KV,06KW棒状阴极（用于镀膜前进行自行对工件清洗）。
蒸发源（选配）
1. TELEMARK-270°电子枪（进口），6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、定位精度高，扫描再现性好。
2. 国产电子枪（振华）：6KW、高压4 KV～8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描。
3. 坩埚：六穴Φ38×20坩埚或四穴Φ38×20加一穴中心弧长87的弧形坩埚（用于耗量大低熔点蒸发材料）或四穴Φ48×18坩埚。
离子源（选配）
1. RF（射频型）离子源（进口）。
2. 5KVA霍尔离子源（振华产），用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀，有利于提高膜层折射率，牢固度、提高膜层致密性、附着力。
膜厚控制系统（选型）
1．MDC-360晶控器（进口）可储存1～99层自动镀膜过程，99种程序数据，精度0.5%+1? 固定误差。2TELEMARK-880晶控器（进口）：可储存1～99层自动镀膜过程、99种程序数据。精度0.5%+1? 固定误差。
3．TELEMARK-820光控器（进口）：采用多波长的全光谱终点分析技术，通过对监控片370-870㎜的透射率（或反射率）曲线分析来判定膜层终了。控制精度高，同时也可采用单波长控制、自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。
4．TELEMARK-820光控器配合TELEMARK-880晶控器能满足高精度、高重复性的镀膜要求。与上位机配合可以实现全自动控制。
5．国产光控器（如9704型配套单色仪等）波长330～870 可调，精度可达到±1.5nm。
手操器
带磁底座，可安置在真空室门及控柜任意位置。
|
